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13883006929水滴角測(cè)量?jī)x在光伏行業(yè)硅片中的清洗應(yīng)用說明
光伏行業(yè)硅片清洗又被稱為制絨,是通過化學(xué)品腐蝕硅片表面,使其受光面積增大,反射率降低的一種技術(shù)。硅片酸洗后需要水沖洗--烘干,轉(zhuǎn)換成氧化膜;根據(jù)氧化膜的親水性原理,利用接觸角來測(cè)試水滴的大小,來判定氧化膜的是否達(dá)到要求。
接觸角測(cè)試儀的原理:液滴在固體的表面達(dá)到平衡時(shí),在氣、液、固三相交界處,氣液界面和液固界面之間的夾角稱為接觸角。
根據(jù)原理,表面張力越大(即親水性),水滴在固體表面形成的夾角越?。槐砻鎻埩υ叫?,水滴在固體表面形成的夾角越大;由此,該水滴角應(yīng)用于硅片清洗后的氧化膜效果判定上;
水滴與氧化膜接觸,角度越小代表氧化膜親水越好,氧化膜的質(zhì)量越好;
為了提供測(cè)試效率及驗(yàn)證概率問題,在測(cè)試硅片時(shí),會(huì)采取多點(diǎn)測(cè)試五點(diǎn)測(cè)試(四邊一中),北斗儀器全自動(dòng)接觸角測(cè)試,設(shè)定參考值,自動(dòng)判定結(jié)果,并且由數(shù)據(jù)全程記錄。
目前測(cè)定接觸角的方法有多種,一般分為二類。一類是直接法、即直接測(cè)量接觸角的大?。涣硪活愂情g接法、即通過其它物理量的測(cè)定以及該物理量與接觸角之間的定量關(guān)系來計(jì)算出接觸角的大小。常用測(cè)定物理量是長(zhǎng)度及質(zhì)量。第—類方法精度由測(cè)角器所決定;第二類則不但由測(cè)定長(zhǎng)度或質(zhì)量的儀器精度,而且還由它們間的定量關(guān)系式的準(zhǔn)確度所決定。
1、長(zhǎng)度測(cè)量法
直接法測(cè)口往往要先確定切線的位置,要做到準(zhǔn)確就比較因難。采用長(zhǎng)度測(cè)量法便能避免之。例如將液滴滴在固體表面上并拍下照片,只要測(cè)定液摘與平面接觸面的半徑和其高度。
2、直接測(cè)量法
這是廣泛使用的方法,它是將掖滴直接滴在固體表面上或者在固--液界面上吹入一小氣泡,直接或先拍下照片后再用量角器定接觸角。如果固體是板條則可用斜板法測(cè)定:將試樣板浸入液體中,侵慢使板傾斜至板面一邊的液體呈水平,插入液體部分的板面與液面所成的角即為接觸角。用測(cè)角器讀取口的方法可得到精度為土1度。
3、重量測(cè)量法
它是利用測(cè)定表面張力的平板法來測(cè)定。上述都是測(cè)量固體平面值的方法,對(duì)于固體粉末,先將固體粉末壓制成一多孔塞,測(cè)定將液體圧入(不潤(rùn)濕固體粉末)或者壓出(潤(rùn)濕固體粉末)所需的壓力,就可計(jì)算出來。